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发明名称 METHOD OF DETERMINING CONDUCTION TYPES OF LAYERS IN SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 SU1045313(A1) 申请公布日期 1983.09.30
申请号 SU19823434497 申请日期 1982.05.06
申请人 GO I FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I PRI GO G UNIV IM.N.I.LOBACHEVSKOGO 发明人 SHABANOV VLADIMIR N,SU;SHENGUROV VLADIMIR G,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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