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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58165341(A) 申请公布日期 1983.09.30
申请号 JP19820048573 申请日期 1982.03.26
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 IWAI HIROSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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