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发明名称
DEVICE FOR PHOTOMETRIC CHECKING OF OPTICAL THICKNESS OF FILMS DEPOSED IN VACUUM
摘要
申请公布号
SU1044973(A1)
申请公布日期
1983.09.30
申请号
SU19823442965
申请日期
1982.05.21
申请人
VVEDENSKIJ VYACHESLAV D,SU;ELGART ZINOVIJ E,SU
发明人
VVEDENSKIJ VYACHESLAV D,SU;ELGART ZINOVIJ E,SU
分类号
G01B21/08;(IPC1-7):G01B21/08
主分类号
G01B21/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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