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<P>L'INVENTION CONCERNE UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES, DESTINE A IRRADIER SELECTIVEMENT LA SURFACE D'UNE PIECE DANS LAQUELLE ON DOIT DEFINIR UN MOTIF.</P><P>LE FAISCEAU A UNE SECTION TRANSVERSALE A LA SURFACE DE LA PIECE CONSTITUEE PAR UNE LIGNE PROJETEE AYANT UNE LONGUEUR VARIABLE, UNE LARGEUR COMMANDEE ET UNE ORIENTATION PARMI DEUX ORIENTATIONS ORTHOGONALES. UNE IMAGE D'UNE OUVERTURE EN L 24 EST FOCALISEE SUR UNE OUVERTURE DE DEFINITION DE FORME 34 COMPORTANT DEUX BORDS ORTHOGONAUX ADJACENTS ET CETTE IMAGE EST DEVIEE PAR RAPPORT A L'OUVERTURE DE DEFINITION DE FORME POUR PRODUIRE UNE LIGNE INTERMEDIAIRE AYANT LA LONGUEUR, LA LARGEUR ET L'ORIENTATION DESIREES.</P><P>LA LIGNE INTERMEDIAIRE EST DEFINIE PAR LA PORTION D'IMAGE DE L'OUVERTURE EN FORME DE L, QUI EST SUPERPOSEE A L'OUVERTURE DE DEFINITION DE FORME.</P><P>UNE IMAGE DE LA LIGNE INTERMEDIAIRE EST ENSUITE PROJETEE SUR LA PIECE AVEC UN MOUVEMENT DE BALAYAGE.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES COMPLEXES.</P>
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