发明名称 |
SUBSTRATE FOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS58164287(A) |
申请公布日期 |
1983.09.29 |
申请号 |
JP19820047590 |
申请日期 |
1982.03.24 |
申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
CHIBA AKIO;SHIMIZU SEIKI;KUNIYA KEIICHI;OONUKI HITOSHI |
分类号 |
H05K1/03;H01L21/52;H01L23/14;H05K1/02 |
主分类号 |
H05K1/03 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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