发明名称 SUBSTRATE FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS58164287(A) 申请公布日期 1983.09.29
申请号 JP19820047590 申请日期 1982.03.24
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 CHIBA AKIO;SHIMIZU SEIKI;KUNIYA KEIICHI;OONUKI HITOSHI
分类号 H05K1/03;H01L21/52;H01L23/14;H05K1/02 主分类号 H05K1/03
代理机构 代理人
主权项
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