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发明名称 GLIMMENTLADUNGS-ABSCHEIDUNGSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3310797(A1) 申请公布日期 1983.09.29
申请号 DE19833310797 申请日期 1983.03.24
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES,INC. 发明人 NATH,PREM;ATTILIO GATTUSO,DAVID
分类号 C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/20;H01L21/18;C30B23/02 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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