发明名称 METHOD FOR GROWING A LIQUID PHASE EPITAXIAL LAYER ON A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 GB2055055(B) 申请公布日期 1983.09.28
申请号 GB19800018611 申请日期 1980.06.06
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人
分类号 C30B19/00;C30B19/12;H01L21/208;H01L33/16;H01L33/30;H01L33/34;(IPC1-7):C03B19/00 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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