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发明名称
METHOD FOR GROWING A LIQUID PHASE EPITAXIAL LAYER ON A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
GB2055055(B)
申请公布日期
1983.09.28
申请号
GB19800018611
申请日期
1980.06.06
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KK
发明人
分类号
C30B19/00;C30B19/12;H01L21/208;H01L33/16;H01L33/30;H01L33/34;(IPC1-7):C03B19/00
主分类号
C30B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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