| 发明名称 |
APPARATUS FOR PLASMA REACTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58163435(A) |
申请公布日期 |
1983.09.28 |
| 申请号 |
JP19820047833 |
申请日期 |
1982.03.25 |
| 申请人 |
HANDOUTAI ENERUGII KENKYUSHO:KK |
发明人 |
YAMAZAKI SHIYUNPEI |
| 分类号 |
H01J37/32;B01J19/08;C23C16/50;C30B25/00;C30B25/02;H01L21/02;H01L21/205 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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