发明名称
摘要
申请公布号 JPS5843692(B2) 申请公布日期 1983.09.28
申请号 JP19760076362 申请日期 1976.06.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 MYAGI HIROYUKI;NAKAJIMA FUMITO;ARIKAWA KIJIRO
分类号 G01N1/00;G01N27/62;G01N30/72;G01N30/78;H01J49/04 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
主权项
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