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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5843692(B2)
申请公布日期
1983.09.28
申请号
JP19760076362
申请日期
1976.06.30
申请人
HITACHI LTD
发明人
MYAGI HIROYUKI;NAKAJIMA FUMITO;ARIKAWA KIJIRO
分类号
G01N1/00;G01N27/62;G01N30/72;G01N30/78;H01J49/04
主分类号
G01N1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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