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发明名称 MANUFACTURE OF TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 JPS58161915(A) 申请公布日期 1983.09.26
申请号 JP19820041931 申请日期 1982.03.17
申请人 SHINETSU KAGAKU KOGYO KK 发明人 KOBAYASHI YASUSHI;ARAKI HITOSHI;SHIMIZU TAKAAKI;TANAKA HIDEJI
分类号 C01B33/107;B01J23/00 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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