发明名称 PROCESS CONTROLLER USING RESONANT ELEMENT DRIVEN BY PNEUMATIC PRESSURE
摘要
申请公布号 JPS58161822(A) 申请公布日期 1983.09.26
申请号 JP19830029620 申请日期 1983.02.25
申请人 FOXBORO CO:THE 发明人 FUIRITSUPU KEI BOTSUJI
分类号 G01D5/42;G01L9/00 主分类号 G01D5/42
代理机构 代理人
主权项
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