发明名称 DISCHARGING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58161775(A) 申请公布日期 1983.09.26
申请号 JP19820042818 申请日期 1982.03.19
申请人 NICHIDEN VARIAN KK 发明人 SUZUKI TOSHIYUKI;NAKAMURA KAZUO
分类号 B01J19/08;C08F2/52;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/18;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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