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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58161235(A) 申请公布日期 1983.09.24
申请号 JP19820042935 申请日期 1982.03.19
申请人 KOKUSAI SEIKOU:KK 发明人 KOIKE HIROTAMI
分类号 H01J37/06;H01J37/141;H01J37/20;H01J37/28 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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