| 发明名称 |
TEMPERATURBESTAENDIGE PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3309222(A1) |
申请公布日期 |
1983.09.22 |
| 申请号 |
DE19833309222 |
申请日期 |
1983.03.15 |
| 申请人 |
SHIPLEY CO.,INC. |
发明人 |
CERNIGLIARO,GEORGE;R. SHIPLEY JUN.,CHARLES |
| 分类号 |
G03F7/022;C08K5/17;C08K5/23;C08L25/00;G03F7/023;G03F7/039;(IPC1-7):G03C1/72;C08K5/28;C08L25/18;G03F7/08;G03F7/26;H01L21/31 |
主分类号 |
G03F7/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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