| 发明名称 |
INRICHTING EN WERKWIJZE VOOR HET AFTASTEN VAN EEN BUNDEL VOOR HET IMPLANTEREN VAN IONEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8300056(A) |
申请公布日期 |
1983.09.16 |
| 申请号 |
NL19830000056 |
申请日期 |
1983.01.07 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/302;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30;H01J37/14;H01L21/26;H01L21/42 |
主分类号 |
H01J37/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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