| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2115976(A) |
申请公布日期 |
1983.09.14 |
| 申请号 |
GB19820005652 |
申请日期 |
1982.02.26 |
| 申请人 |
* PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED |
发明人 |
THOMAS * CHISHOLM |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/145;H01J37/30;(IPC1-7):H01J3/14 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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