发明名称
摘要
申请公布号 JPS5840527(Y2) 申请公布日期 1983.09.12
申请号 JP19780178861U 申请日期 1978.12.25
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;H01J37/07;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/252 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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