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发明名称 스태크 모듈과 스태크 로더 조립체
摘要 내용 없음
申请公布号 KR830005723(A) 申请公布日期 1983.09.09
申请号 KR19810000640 申请日期 1981.02.26
申请人 null, null 发明人 월터 엔·로맨크즉;폴 제이·리터;윌리엄 알·워트킨스
分类号 H01L21/52;H01L23/40;H01L25/11 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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