| 摘要 |
<p>Die Kathode weist eine Schichtstruktur auf, wobei die einzelnen Schichten, die im wesentlichen abwechselnd aus Emittermaterial (3) und Basismaterial (1) bestehen, schräg zur makroskopischen emittierenden Kathodenoberfläche angeordnet sind. Die Oberfläche weist in einer bevorzugten Ausführungsform mikroskopisch eine stufige Struktur auf, wobei die Auslaufstufen (2) die Fortsetzung der Emittermaterialschichten (3) bilden. Bei einer weiteren Ausführungsform ist die Oberfläche nicht stufig, sondern wird durch eine polykristalline oder eine vorzugsorientierte polykristalline Deckschicht, die auf der Folge von schräggestellten Schichten angeordnet ist, gebildet. Die Schichtenfolge wird durch alternierende Abscheidung aus der Gasphase, verbunden mit anschließendem Schrägschliff der Schichten, hergestellt. Die polykristalline Deckschicht wird wiederum durch Abscheidung aus der Gasphase aufgebracht. Die stufige Oberfläche wird z.B. durch selektives Strukturätzen nach dem Schrägschliff erzeugt.</p> |
