发明名称 Manufacture of semiconductor devices
摘要
申请公布号 US2842831(A) 申请公布日期 1958.07.15
申请号 US19560607084 申请日期 1956.08.30
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED 发明人 PFANN WILLIAM G.
分类号 C23C14/04;H01L21/00;H01L21/24 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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