发明名称 METHOD OF PRODUCING MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58147071(A) 申请公布日期 1983.09.01
申请号 JP19820221086 申请日期 1982.12.16
申请人 INMOSU CORP 发明人 GEERII EFU DAABENUITSUKU;JIEEMUZU AARU ADAMUSU;MASHIYUU BUI HANSON;UIRIAMU DEII RAIDEN;ARUFURETSUDO PII NADEINJIYAA
分类号 H01L21/033;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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