发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON SCHICHTEN AUS HOCHSCHMELZENDEN METALLEN BZW. METALLVERBINDUNGEN DURCH ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE
摘要
申请公布号 DE3206421(A1) 申请公布日期 1983.09.01
申请号 DE19823206421 申请日期 1982.02.23
申请人 SIEMENS AG 发明人 WIECZOREK,CLAUDIA,ING.
分类号 C23C16/50;C23C16/507;H05K3/14;(IPC1-7):C23C11/02;H01L21/88;H01L21/28;H05K3/02;F24J3/02;H01H11/04 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
地址