发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
摘要 Dispositif à semiconducteurs possédant une jonction hétéro, dans lequel une couche de silicium polycristallin ou amorphe (7) dopée avec de l'oxygène est formée sur un substrat semiconducteur de silicium monocristallin (1) en tant que film de passivation, et des impuretés sont dopées uniquement dans des parties prédéterminées de la couche (7), formant ainsi une couche semiconductrice possédant le type de conductivité désirée. L'étape de photogravure requise jusqu'à présent peut être éliminée en formant la couche de silicium polycristallin ou amorphe dopée par de l'oxygène (7) et en dopant ensuite des impuretés possédant le type de conductivité désirée.
申请公布号 WO8303032(A1) 申请公布日期 1983.09.01
申请号 WO1983JP00049 申请日期 1983.02.18
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TANAKA, TOMOYUKI;YAMADA, KOICHIRO;YASUDA, YASUMICHI
分类号 H01L21/314;H01L21/3215;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/08;(IPC1-7):01L29/72;01L29/167;01L29/08 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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