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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SUPPORTS FOR SEMICONDUCTOR SYSTEMS
摘要
申请公布号 CS222923(B1) 申请公布日期 1983.08.26
申请号 CS19810008041 申请日期 1981.11.02
申请人 BELESCAK,LADISLAV,CS;DOJCAN,JOZEF,CS;DUDIK,MIROSLAV,CS;KRIHO,JOZEF,CS 发明人 BELESCAK,LADISLAV,CS;DOJCAN,JOZEF,CS;DUDIK,MIROSLAV,CS;KRIHO,JOZEF,CS
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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