| 摘要 |
<p>Pompe rotative à vide élevé comportant un corps de pompe (4) auquel est lié un stator (3) à plusieurs étages, et un rotor (2) également à plusieurs étages monté sur un arbre (1) entraîné par un moteur, ledit arbre (1) tourillonnant dans au moins deux roulements à billes (5,6) disposés dans un manchon (18) formé par un prolongement dudit corps de pompe (4), un joint dynamique (7) étant calé sur ledit arbre (1) à l'extrémité voisine du corps du manchon (18), caractérisée par le fait que l'extrémité opposées du manchon (18) est fermé, un ajutage (8) relié à une source extérieure de gaz étant disposé à cette extrémité fermée, ledit corps de pompe (4) étant par ailleurs relié à une pompe à vide primaire exterieure, de sorte que lesdits roulements à billes (5, 6) et le rotor (9) dudit moteur soient en permanence balayés par ledit gaz, entrant par ledit ajustage évacué par ledit joint dynamique et circulant sous une pression intermédiaire entre la pression atmosphérique et la pression de refoulement de la pompe. L'invention est mise en oeuvre dans les techniques microélectronique.</p> |
