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发明名称 ION SOURCE IN A VACUUM CHAMBER AND METHOD FOR ITS OPERATION
摘要
申请公布号 EP0021140(B1) 申请公布日期 1983.08.24
申请号 EP19800103077 申请日期 1980.06.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HARPER, JAMES MCKELL EDWIN;KAUFMAN, HAROLD RICHARD
分类号 H01L21/302;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/305;H01L21/3065;(IPC1-7):01J27/00;01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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