| 发明名称 |
HALBLEITERSUBSTRAT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG UNTER VERWENDUNG DIESES SUBSTRATS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3304255(A1) |
申请公布日期 |
1983.08.18 |
| 申请号 |
DE19833304255 |
申请日期 |
1983.02.08 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
IWAI,HIROSHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/322;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/80;H01L27/04;H01L23/54 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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