| 发明名称 |
FILM DEPOSITING APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2114160(A) |
申请公布日期 |
1983.08.17 |
| 申请号 |
GB19830000948 |
申请日期 |
1983.01.14 |
| 申请人 |
* TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
KATSUMI * SUZUKI;SHUJI * YOSHIZAWA |
| 分类号 |
C23C16/505;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/18;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
C23C16/505 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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