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发明名称
摘要
申请公布号 JPS58120654(U) 申请公布日期 1983.08.17
申请号 JP19820017601U 申请日期 1982.02.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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