发明名称 METHOD OF FORMING CONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPS58135511(A) 申请公布日期 1983.08.12
申请号 JP19820018367 申请日期 1982.02.08
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 OOHIRA HIROSHI;SAITOU MASAYUKI
分类号 H01B13/00;H01B5/14 主分类号 H01B13/00
代理机构 代理人
主权项
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