发明名称 PRODUCTION OF ALUMINUM OXYNITRIDE
摘要
申请公布号 JPS58135112(A) 申请公布日期 1983.08.11
申请号 JP19820014992 申请日期 1982.02.03
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 YONEYA KATSUTOSHI;TSUGE AKIHIKO;INOUE HIROSHI;OOTA HIROYASU
分类号 C01B21/082;C01B21/072;C01F7/00 主分类号 C01B21/082
代理机构 代理人
主权项
地址