| 发明名称 |
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| 摘要 |
PURPOSE:To measure activated gas over a wide range of degree of vacuum in order to permit measurement of degree of vacuum at good reproducibility. |
| 申请公布号 |
JPS5836738(B2) |
申请公布日期 |
1983.08.11 |
| 申请号 |
JP19750100782 |
申请日期 |
1975.08.19 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUSAO KENJI;YOSHIOKA YOSHIAKI;KONISHI BUNYA |
| 分类号 |
G01N23/223;G01L21/30;G01N27/64 |
主分类号 |
G01N23/223 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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