发明名称 ULTRASONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0084174(A3) 申请公布日期 1983.08.10
申请号 EP19820112077 申请日期 1982.12.28
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KANDA, HIROSHI;ISHIKAWA, ISAO
分类号 G01N29/06;B06B1/06;G01H3/12;(IPC1-7):G01H3/12;G10K11/34 主分类号 G01N29/06
代理机构 代理人
主权项
地址