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发明名称 RECIRCULATION FLOW RATE CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58132693(A) 申请公布日期 1983.08.08
申请号 JP19820015915 申请日期 1982.02.03
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK;NIHON BIJINESU AUTOMATION KK 发明人 ONO HIROSHI;KASUGA HIROSHI
分类号 G21C7/26;G21C7/32 主分类号 G21C7/26
代理机构 代理人
主权项
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