发明名称 METHOD OF FORMING TITANIUM DISILICIDE
摘要
申请公布号 JPS58132951(A) 申请公布日期 1983.08.08
申请号 JP19830014482 申请日期 1983.01.31
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 CHI KEI RAU
分类号 H01L29/78;H01L21/285;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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