| 发明名称 |
DEVICE FOR CHECKING PROPERTIES OF THIN RESISTIVE FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU1033993(A1) |
申请公布日期 |
1983.08.07 |
| 申请号 |
SU19823431940 |
申请日期 |
1982.04.26 |
| 申请人 |
VORONEZHSKIJ G UNIV IM.LENINSKOGO KOMSOMOLA |
发明人 |
BERENSHTEJN BORIS SH,SU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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