| 发明名称 |
PLATEAU DE MONTAGE DESTINE A MAINTENIR ELECTROSTATIQUEMENT DES ECHANTILLONS |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PLATEAU DE MONTAGE DESTINE A MAINTENIR ELECTROSTATIQUEMENT DES ECHANTILLONS.</P><P>IL COMPREND UNE PLAQUE D'ELECTRODE 1 FAITE D'UN MATERIAU ELECTRIQUEMENT CONDUCTEUR ET UNE COUCHE DIELECTRIQUE 2 FORMEE SUR UNE FACE DE LA PLAQUE D'ELECTRODE PAR PULVERISATION A LA FLAMME D'UN MATERIAU DIELECTRIQUE. LA REGION DE SURFACE DE LA COUCHE DIELECTRIQUE EST IMPREGNEE D'UNE MATIERE PLASTIQUE 3 ET LA SURFACE DE LA COUCHE DIELECTRIQUE 2 EST RENDUE LISSE ET PLANE.</P><P>LE PLATEAU EST NOTAMMENT DESTINE AU TRAITEMENT ET A L'EXAMEN DE DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEURS.</P>
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| 申请公布号 |
FR2520930(A1) |
申请公布日期 |
1983.08.05 |
| 申请号 |
FR19820016981 |
申请日期 |
1982.10.11 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KK |
发明人 |
TORU TOJO, ICHIRO MORI ET SHUNICHI SANO;MORI ICHIRO;SANO SHUNICHI |
| 分类号 |
B23Q3/15;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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