| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2113120(A) |
申请公布日期 |
1983.08.03 |
| 申请号 |
GB19820036146 |
申请日期 |
1982.12.20 |
| 申请人 |
SOCIETA ITALIANA VETRO * SIV SPA |
发明人 |
REINHARD * KALBSKOPF;OTTO * BAUMBERGER;SERGE * MASSON |
| 分类号 |
C23C16/44;B01J12/02;B01J15/00;B01J19/00;C03C17/00;C23C16/453;C23C16/455;C23C16/54;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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