| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING SILICON THIN-FILM TRANSISTORS ON AN INSULATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0082783(A3) |
申请公布日期 |
1983.08.03 |
| 申请号 |
EP19820402332 |
申请日期 |
1982.12.17 |
| 申请人 |
MORIN, FRANCOIS;FAVENNEC, JEAN-LUC;BONNEL, MADELEINE |
发明人 |
MORIN, FRANCOIS |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/45;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84;H01L29/54 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
