发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR PYROLYTIC PRODUCTION OF HYPERPURE SEMICONDUCTOR MATERIAL, PARTICULARLY SILICON
摘要
申请公布号 CA643374(A) 申请公布日期 1962.06.19
申请号 CAD643374 申请日期
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 NORBERT SCHINK;KONRAD REUSCHEL
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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