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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5834951(B2) 申请公布日期 1983.07.29
申请号 JP19760023834 申请日期 1976.03.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUNAGA SHINOBU;YAMANO TAKESHI;YASUOKA MASAHIKO
分类号 H01L27/08;H01L21/265;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
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