| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58127374(A) |
申请公布日期 |
1983.07.29 |
| 申请号 |
JP19820008934 |
申请日期 |
1982.01.25 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
KURODA SHIGEO;TAKAHASHI TAKAHIKO;ANZAI AKIO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8222;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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