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发明名称 Positioning apparatus
摘要
申请公布号 GB2112933(A) 申请公布日期 1983.07.27
申请号 GB19820035609 申请日期 1982.12.14
申请人 * GCA CORPORATION 发明人 ADRIAAN * WALTHER;THOMAS D * WISELEY;DAVID R * BEAULIEU
分类号 H01L21/30;G03F9/00;G05D3/12;H01L21/027;(IPC1-7):G05D3/12 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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