发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS58123730(A) 申请公布日期 1983.07.23
申请号 JP19820005670 申请日期 1982.01.18
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 YANAGIDA YASUSHI;IMAGAWA MAKOTO;YONEDA TOSHIO
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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