| 发明名称 |
METHOD OF DETECTING MATERIAL TO BE PROCESSED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58122415(A) |
申请公布日期 |
1983.07.21 |
| 申请号 |
JP19820216230 |
申请日期 |
1982.12.09 |
| 申请人 |
JII KEI ENU TEKUNOROJII LTD |
发明人 |
ROBAATO HENRII AAKERU;PIITAA UIRIAMU BURATSUKU BENSON |
| 分类号 |
B24B49/00;G01B11/00;G01B11/24;G01B21/20 |
主分类号 |
B24B49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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