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摘要
申请公布号
DE2544736(C2)
申请公布日期
1983.07.21
申请号
DE19752544736
申请日期
1975.10.07
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., 10504 ARMONK, N.Y., US
发明人
POPONIAK, MICHAEL ROBERT, NEWBURGH, N.Y., US
分类号
H01L21/306;H01L21/316;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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