| 发明名称 |
PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58122036(A) |
申请公布日期 |
1983.07.20 |
| 申请号 |
JP19820003903 |
申请日期 |
1982.01.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA DENKI SANGYO KK |
发明人 |
MATSUO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
C23C14/48;B01J19/00;C22F1/00;C22F1/10;C23C14/58;C23C16/50;H01F10/12;H01F10/13;H01F10/16;H01L21/02;H01L21/20 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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