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发明名称 CORRECTION OF ASTIGMATISM IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPES AND SIMILAR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 GB2058525(B) 申请公布日期 1983.07.20
申请号 GB19800022332 申请日期 1980.07.08
申请人 AKASHI SEISAKUSHO KK 发明人
分类号 H01J37/153;(IPC1-7):H01J29/56 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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