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经营范围
发明名称
COATING OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
EP0056326(A3)
申请公布日期
1983.07.20
申请号
EP19820300126
申请日期
1982.01.11
申请人
NORTHERN TELECOM LIMITED
发明人
JENKINS, GEORGE MILES
分类号
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/12;C30B25/14;C30B31/16;C30B33/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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