发明名称 COATING OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 EP0056326(A3) 申请公布日期 1983.07.20
申请号 EP19820300126 申请日期 1982.01.11
申请人 NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人 JENKINS, GEORGE MILES
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/12;C30B25/14;C30B31/16;C30B33/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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