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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPS58119332(A) 申请公布日期 1983.07.15
申请号 JP19810210741 申请日期 1981.12.30
申请人 KONISHIROKU SHASHIN KOGYO KK 发明人 SHINDOU MASANARI;OOTA TATSUO;SATOU SHIGERU;MIYOUKAN ISAO;SHIMA TETSUO
分类号 C23C14/06;B01J19/00;B01J19/08;C23C14/24;C23C14/32 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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